濕度是指氣體中水蒸氣的含量。監(jiān)視SF6氣體的濕度是SF6斷路器和GIS的主要測量項目。這是因為SF6氣體含有水分，會引起嚴(yán)重不良后果。其危害有兩個方面：

（1）水分引起化學(xué)腐蝕作用。SF6氣體在常溫下是穩(wěn)定的，當(dāng)溫度低于500℃時一般不會自行分解，但是在SF6氣體中含有較多的水分時，溫度在200℃以上就開始水解，其反應(yīng)式為

在成物中HF的水溶液叫氫氟酸。它是無機酸中腐蝕性最強的一種，也是對生物肌體有強烈腐蝕作用的物質(zhì)。SO2遇水會生成亞硫酸（H2SO3），也有腐蝕性。

水的危害更主要的是電弧作用下的SF6分解產(chǎn)物與其再反應(yīng)而生成的水解衍生物。這些物質(zhì)主要有SOF2、SOF4、SO2F4、SO2、HF等，它們均具有腐蝕性和（或）毒性。

為了減小和消除SF6在電弧作用下的有害影響，首要的任務(wù)是限制SF6氣體中的水分含量，使其降至最低。在國家標(biāo)準(zhǔn)GB8905—88《六氟化硫電氣設(shè)備中氣體管理和檢測導(dǎo)則》中規(guī)定，新SF6氣體的含水量不的高于8ppmv。

（2）水分對絕緣的危害。SF6中的水分，除對設(shè)備絕緣體和金屬部件產(chǎn)生腐蝕作用外，還有它的表面產(chǎn)生凝結(jié)水，附著在絕緣件的表面，而造成沿面閃絡(luò)。當(dāng)水分由液態(tài)變成固態(tài)后，對設(shè)備絕緣材料的危害性才大大減小，即水變成冰之后，它對設(shè)備的危害才減小。

SF6中水分的檢查方法有重量法、電解法和露點法。其中重量法是TEC推薦的仲裁法。在我國多用電解法設(shè)計微水測量儀?！兑?guī)程》也推薦這種方法。其原理是將被試的SF6氣體導(dǎo)入電解池中，氣體中的水分即被吸收，并電解。根據(jù)電解水分所需的電量與水分量的關(guān)系，求出SF6氣體中的水分量。根據(jù)下面的公式，求出SF6氣體中的電解電流量與氣體中含水量的多少，即

從式看出，當(dāng)氣體的壓力、溫度、氣體流量不變時，電解電流與氣體含水量成正比。如若將電流表的刻度按ppmv刻成，則可以從表中直接讀出氣體中水分的含量。國內(nèi)常用的微量水分測量儀的參數(shù)如表1-2所示。

表1-2        電解法的微量水分測量儀參數(shù)表

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